21일 한화정밀기계는 자사의 반도체 후공정 장비인 다이본더가 ‘IR52 장영실상’ 수상 제품(37주차)에 선정됐다고 밝혔다.
특히 이번 국산화는 기존 90% 이상 일본 수입에 의존하고 있던 반도체 장비를 성공한 사례이며 지난해 정부가 발표한 소재부품장비(소부장) 산업 경쟁력 강화대책 이후 국내 반도체 경쟁력 향상에 긍정적이라는 평가다.
IR52 장영실상은 과학기술정보통신부가 주최하는 국내 최고의 산업 기술상으로 신기술 제품을 개발 상품화하여 산업기술 혁신에 앞장 선 국내업체와 연구소의 기술개발 담당자에게 주는 상이다.
다이 본더(Die Bonder)는 반도체 후공정인 패키징 공정 중 가장 고난이도의 핵심 장비 중 하나로 다이(Die)는 반도체, 본더(Bonder)는 반도체와 PCB 기판을 열과 압력으로 정밀하게 접착하는 기계라는 뜻이다.
한화정밀기계는 이번 다이 본더에 세계 최초로 개발한 보정 기술을 적용하며 자재 교체 시간을 개선했다.
아울러 4개 멀티 헤드 및 겐트리 개별 제어로 4.2 마이크로미터급 (㎛, 100만분의 1미터) 고정밀 조립 정도를 유지하면서 해외 주요 경쟁사 대비 2.5배 이상의 실 생산성을 높였다.
또한, 세계 최초로 SK 하이닉스에서 개발한 에어 리프트(Air Lift) 타입 픽업 장치를 적용하며 25 마이크로미터(㎛) 두께의 반도체 다이를 고속으로 픽업하면서도 제품에 가해지는 스트레스를 기존 대비 30% 수준으로 낮춰 반도체 완성품의 불량 원천 방지를 통해 불량률을 개선했다.
이번 국산화는 장비 전문기업인 한화정밀기계의 플립칩 본더 기술과 장비 수요기업인 SK하이닉스의 반도체 패키징 공정 기술을 결합하여 이뤄냈다는데 의미가 있다는 평가다.
특히 한화정밀기계는 일본산에 의존하던 장비 국산화 및 상용화에 성공하고 연이어 장영실상까지 선정되어 국내 최고 수준의 기술력을 다시 한번 인정 받게 되었다.
이영범 SK 하이닉스 PKG장비개발 팀장은 “일본 수출 규제에 따른 반도체 산업 위기감이 고조된 상황에서 양사 긴밀한 협력으로 1년 6개월이라는 짧은 기간에 세계 최고 성능의 다이 본더 국산화 개발에 성공했다. 품질 안정화와 장비 경쟁력을 높여 기쁘게 생각한다”고전했다. 한화정밀기계는 한화에어로스페이스의 자회사로, 그룹 내에서 전자 및 기계분야
제조장비 부문을 총괄하며 크게 칩마운터와 공작기계 사업을 수행하고 있다.
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