[쿠키과학] KBSI, 세계 최초 94㎚ 해상도 '나노열영상 현미경' 개발
한국기초과학지원연구원(KBSI)이 동작 중인 전자 소자의 열 흐름을 94㎚(나노미터) 수준에서 직접 볼 수 있는 ‘열영상 현미경’을 세계 최초로 개발했다. KBSI 연구장비개발부 장기수 박사팀은 ‘주사 광학 탐침 열반사 현미경(SPTRM)’을 개발했다고 27일 밝혔다. 연구팀이 개발한 SPTRM은 빛의 반사율 변화를 이용해 온도를 이미지로 변환하는 기술을 적용, 물체의 온도가 달라지면 빛이 반사되는 강도도 아주 조금 변할 때 미세한 변화를 탐지해 열분포를 정밀하게 그려내는 것이 특징이다. 이 기술은 기존 적외선(IR) ... [이재형]



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