㈜벡스코가 반도체·디스플레이 공정 핵심 장비 기술을 이전받으며 고부가가치 진공장비 시장에 진출할 전망이다.
한국원자력연구원(이하 원자력연)은 반도체와 디스플레이 공정의 핵심인 ‘고효율 가압·진공 유체이송 시스템’ 기술을 ㈜벡스코에 이전하는 기술실시계약을 체결했다고 5일 밝혔다.
기술이전 조건은 정액기술료 1억 원에 매출액의 1.5%를 경상기술료로 받고, 관련 특허 9건과 노하우 1건을 포함한다.
실시기간은 계약 체결일로부터 10년이다.
이 기술은 반도체·디스플레이뿐 아니라 에너지, 화학 등 다양한 산업 분야로 확장이 기대된다.
벡스코는 원자력연 패밀리기업으로, 이번 기술이전을 통해 반도체·디스플레이 공정용 고효율 진공 펌프와 초고진공(UHV) 환경제어시스템 분야로 사업영역을 확장한다.
이번에 이전한 기술은 원자력연 처분성능실증연구부 권장순 박사팀이 사용후핵연료 심층처분 시스템을 연구하던 중 개발했다.
이 기술은 원통구조 내부에서 로터가 회전해 유체를 흡입·가압·이송하는 로터리 피스톤 방식으로, 로터가 돌면서 내부 공간이 넓어지면 압력이 낮아져 유체를 빨아들이고, 공간이 좁아지면 압력이 높아져 유체를 밀어내는 원리다.
또 시스템은 입수관·출수관 방향을 바꿀 수 있어 양방향 유체이동이 가능하고, 끈적거리는 고점도 액체도 안정적으로 처리할 수 있다.
특히 별도 외부장치 없이 유체를 스스로 흡입하고 진공상태를 형성하는 등 다양한 기능을 장치 하나로 구현했다.
기존 회전식 펌프는 고압 형성이 어렵고, 왕복식 펌프는 구조가 복잡해 유량에 한계가 있었다.
이 기술은 이런 단점을 모두 해결하고, 로터를 여러 개 연결해 성능을 단계적으로 높일 수 있다.
아울러 진동과 소음이 적어 기존 방식보다 운전 안정성과 내구성이 뛰어나다.
이번 개발로 그동안 해외 의존도가 높았던 핵심 유체이송장치를 국산화해 비용절감은 물론 공급망 안정성과 기술 자립도를 높이는 데 기여할 것으로 기대된다.
임인철 원자력연 부원장은 “이번 성과는 원자력 연구과정에서 확보한 기술이 해외 의존도 높은 핵심 장비 분야에 국산화 가능성을 제시한 것”이라며 “연구원에서 개발한 기술이 산업현장에서 적극 활용되도록 지원하겠다"고 말했다.
