
나노종합기술원, 나노·반도체 공정기술 기반 '마이크로 전고체배터리 제조플랫폼' 구축
나노종합기술원(이하 기술원)이 반도체 공정을 활용해 전고체배터리 소형화 및 차세대 나노융합소자 전력원으로 활용될 수 있는 ‘마이크로 전고체배터리 제조플랫폼’을 구축했다. 마이크로배터리는 전고체배터리를 ㎛ 크기로 줄인 차세대 초소형 배터리로, 현재 리튬이온전지와 달리 반도체 제조공정과 직접 호환 가능한 박막공정으로 제작해 의료, 국방, 우주, 항공 등 특수목적 초소형기기의 전력공급원으로 활용할 수 있다. 이번에 기술원이 확보한 마이크로배터리 제조 플랫폼은 기존 실험실 수준을 넘어 나노-반... [이재형]